把丽水“钽基地”打造成为全球钽业冠军：超大规模集成电路制造用超高纯钽项目正式投产

“我宣布，超大规模集成电路制造用超高纯钽项目，正式投产！”11月8日上午，超大规模集成电路制造用超高纯钽项目投产仪式在丽水经济技术开发区同创（丽水）特种材料有限公司电子束炉生产区举行，丽水市委书记胡海峰参加投产仪式并宣布项目投产。

随着该项目第一台拥有完全自主知识产权的设备顺利“点火开炉”，丽水经济技术开发区也成为了国内第一个电子级超高纯钽材料产业基地。

“我们的目标非常清晰，就是要在丽水打造出一个钽材料的全产业链，把丽水‘钽基地’打造成为全球钽业冠军。”宁波江丰电子材料股份有限公司董事长兼首席技术官，同时也是本次项目组织实施方同创普润（上海）特种材料有限公司的重要股东姚力军博士对丽水钽产业未来发展，信心十足。

钽金属是国家重要的战略资源，是超大规模集成电路制造中不可少的关键性材料。全球应用于高端芯片制造用超高纯钽材技术被美国和日本两家公司垄断，我国完全依赖进口。近两年来，由于美国对华为、中芯国际等中国企业的制裁，中国芯片制造业已经出现了“钽靶”荒，产业链存在断粮的风险。

姚力军博士团队聚焦国家芯片产业重大需求和世界领先技术，突破了超高纯钽提纯、电子束熔炼等核心技术，拥有完整的自主知识产权，实现了制造装备的完全国产化，填补了该领域的空白，结束我国长期依赖进口的局面，解决了在集成电路制造用材料领域的一个“卡脖子”问题。

“项目布局了6台国际领先、中国最大的电子束炉，投产后将形成年产电子级超高纯钽400吨的能力，满产后产值超过50亿元，超高纯钽材料的产能将达到全球第一。”姚力军自豪地说，不仅能够保障我国超大规模集成电路产业的战略安全，还可以满足相关行业的重大需求，为我国战略新兴产业的发展保驾护航。

叶甜春是国家科技重大专项“极大规模集成电路制造装备及成套工艺”技术总师，在他看来，这个规模应该是全世界最大的钽材料加工工厂，对于国内的半导体基础原材料产业有重大意义，江丰电子等企业要充分发挥好关键核心技术攻关的新型举国体制的优势，锻造长板优势，争取在更多产品品种上做到世界第一，努力在世界市场上占有绝对性优势份额，打造核心竞争优势和扩充“杀手锏”技术储备。

中国集成电路材料产业技术创新联盟秘书长石瑛对该项目战略意义给予充分肯定。她认为，超大规模集成电路制造用超高纯钽项目投产，将为我国集成电路制造用靶材发展史上创造又一个里程碑，为我国超高纯钽靶材稳定生产、稳定供应奠定了坚实的材料基础。

丽水同创超高纯钽项目是丽水和宁波“山海协作”工程结下的良缘，是人才科技峰会结出的硕果。值得一提的是，从引进到建成产业基地再到实现投产，丽水同创超大规模集成电路制造用超高纯钽项目仅用了一年时间，还实现了制造装备完全国产化，填补了该领域空白，创造了丽水高新产业发展的历史纪录。

这只是丽水经开区快速打造半导体产业“芯”高地，释放半导体全链条的国际竞争力的一个缩影。从2019年到现在，中欣晶圆、晶睿电子、广芯微电子、江丰电子和珏芯微电子等16家企业已经落户，还有高纯特种电子气体、先进半导体装备产业园、功率半导体检测设备、电子声表面波滤波器、碳化硅外延片及芯片制造等一批项目正在准备入园。在前不久举行的第十届“智汇丽水”人才科技峰会开幕式上，丽水经开区共有4个半导体项目和1个研究院签约。其中，中欣晶圆8-12英寸外延片项目将于11月摘牌，明年12月投产。该项目和晶睿电子满产后，8英寸和12英寸外延片产能分别达到50万片/月和40万片/月，届时丽水将成为全国外延片生产研发制造基地。

短短两年间，丽水经开区从完全空白起步，先后引进16个芯片项目，从无到有、从小到大，培育形成了浙江省第二条半导体全产业链，跑出了高新产业发展的“丽水速度”。

对于丽水半导体产业的未来发展，叶甜春建议，以本次投产的项目为起点，继续延伸拓展上下游产业链，在集成电路关键材料领域打造半导体产业集群，为国家集成电路自主创新发展、科技自立自强占领新高地，集聚新动能。

“我们有信心到‘十四五’末，半导体产业产值达到300亿元，成为全国半导体产业的核心产区之一。”丽水经济技术开发区党工委书记、管委会主任刘志伟说，半导体全链条，正成为丽水经开区实现弯道超车、绿色跨越的新动能。我们将竭诚当好“店小二”，通过全方位服务，招引更多半导体企业入园，唤起经开区创业创新的活力，“变不可能为可能”。

系统构建以“生态经济化、经济生态化”为显著特征的现代化生态经济体系，推动高质量绿色发展实现新突破、加快跨越式发展迈出新步伐，丽水半导体产业正在实现预想中的集群化发展，推动产业向中高端、全链条不断升级，打造具有丽水特色的“高水平建设和高质量发展重要窗口”。

丽水市政协副主席、市发改委主任饶鸿来出席投产仪式。